如果或超因?qū)嶒炇腋脑旎蜷L時間休息而長期停用，則必須采取一定的維護措施，以便日后正常運行，并保證實驗?zāi)軌蛘＿M(jìn)行。

1. 停機處理

如果非使用期為1周至10天，且電力和水源不受影響，則系統(tǒng)可以繼續(xù)運行，就能繼續(xù)獲得穩(wěn)定的純水水質(zhì)。若是進(jìn)行水管管路調(diào)整工程，系統(tǒng)必須完全停止，此時應(yīng)關(guān)閉純水系統(tǒng)的供水開關(guān)和電源，并斷開與供水的連接。水箱中的純水會因長期放置導(dǎo)致水質(zhì)下降，所以必須完全排空。

2. 開機處理

停用期結(jié)束后，再次使用純水系統(tǒng)時要注意檢查供水水源的水質(zhì)，尤其是水管工程維修后，因為供水中會混入很多污染物。因此，應(yīng)先打開供水源的水龍頭，將自來水充分排出，然后與純水系統(tǒng)連接，啟動系統(tǒng)。

如果采取上述對策后系統(tǒng)仍不能正常運行，則可能是停機期間各種純化柱和濾膜堵塞造成的。因此，應(yīng)更換有問題的部件。

3. 純水系統(tǒng)取水

從純水系統(tǒng)取水時，應(yīng)注意避免二次污染。尤其是系統(tǒng)中的當(dāng)?shù)厮菀资艿轿廴?。因此，在使用超純水時，應(yīng)“即取即用”。

4. 日常維護

及時更換低成本的預(yù)處理柱是降低使用成本的有效途徑。對于，應(yīng)該定期校驗系統(tǒng)內(nèi)置的電阻率監(jiān)測儀，確保電阻率讀數(shù)正確，并根據(jù)電阻率監(jiān)測數(shù)據(jù)，超純柱的過水量和使用時間(一般不超過2年)決定是否更換超純化柱。